信息光子学材料与器件工艺实验平台

该平台拥有半导体材料外延生长设备和半导体微纳结构与半导体光电子器件制备的全套工艺及测试设备。该平台服务于实验室承担的多项国家973计划等重大科研项目,有力支撑了我国在信息光子学理论、材料、器件与集成方面的科研探索。依托该平台,实验室取得了国家级国际合作奖和多项省部级科技奖励。